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          硅單晶錠粘結儀

          硅單晶錠粘結儀

          • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

          • 點擊次數:
          • 發布日期:2015/11/10
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          硅單晶錠粘結儀

          DX-7CF硅單晶錠復檢儀

          功能:此型儀器專門用于硅單晶錠定向、粘結后復檢。待測晶錠在我公司的DX-7C型X射線定向儀定向,在DX-7CZ型粘料儀上粘結后,Z終在本儀器上復檢,和多線切割機配套使用。

          特點:此儀器具有一個工作臺,工作臺上有托板和料板(工件板)的定位、夾緊裝置。晶錠與墊條(石墨/玻璃/樹脂)、料板粘結后一起裝在上述裝置定位夾緊,其端面在x射線照射下進行復檢,每個料板只可復檢兩塊晶錠。

          技術參數:

          項目

          參     

          輸入電源

          單相交流220V,50Hz,0.3KW.

          Z大管電壓

          30kV

          管電流

          0-5mA連續可調

          接收器

          蓋革計數器,工作電壓Z高為DC1050V。

          X射線管

          銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

          外形尺寸

          1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

          儀器重量

          300kg。

          晶錠直徑

          5-8英寸

          晶錠Z大長度

          500mm

          測定晶面

          111向、100向

          定向精度

          ±30"(用標準石英片10ī1面測量)

          Z小讀數

          1"

          晶錠轉角(&)

          ±10°

          料板Z大長度

          500mm

          料板寬度

          70mm、100mm


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