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          硅單晶晶片定向儀

          硅單晶晶片定向儀

          • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

          • 點擊次數:
          • 發布日期:2015/11/10
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          硅單晶晶片定向儀

          DX-7A硅單晶晶片定向儀(7AC7AS7AZ)

          功能:該儀器主要用于測定切割后的硅單晶晶片表面及參考面的角度,也可用于測定其它種類單晶材料的晶片。儀器配有吸氣泵??蓽y定直徑為 3-8 英寸的晶片,測定晶面為 100 、 110 、 111 、 210 等。該儀器為雙工作臺,可同時完成相同任務,也可分別測定晶片表面和參考面,根據用戶需要配置。

          技術參數:

          項目

          參     

          輸入電源

          單相交流220V,50Hz,0.3KW.

          Z大管電壓

          30kV

          管電流

          0-5mA連續可調

          接收器

          蓋革計數器,工作電壓Z高為DC1050V

          X射線管

          銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

          測定角度

          2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

          綜合精度

          ±30″(用標準石英片10ī1面測量)

          Z小讀數

          1

          外形尺寸

          1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

          儀器重量

          300kg。

           


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