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          晶體切割加工中的重要一環

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          晶體切割加工中的重要一環

          發布日期:2021-12-13 00:00 來源:http://www.webdev3000.com 點擊:

            藍寶石的組成為氧化鋁,是由三個氧原子和兩個鋁原子以共價鍵型式結合而成,其晶體結構為六方晶格結構。它常被應用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane.由于藍寶石的光學穿透帶很寬,從近紫外光(190nm)到中紅外線都具有很好的透光性。藍寶石晶體定向利用長晶爐生長尺寸大且高品質的單晶藍寶石晶體,藍寶石晶體定向儀是目前晶體切割加工中重要的定向專用設備,在儀器設備自動化程度迅速提高的今天,國產儀器雖算不上高精度自動化儀器,但它在實際工作中發揮很大的作用。


            因此被大量用在光學元件、紅外裝置、高強度鐳射鏡片材料及光罩材料上,它具有高聲速、耐高溫、抗腐蝕、高硬度、高透光性、熔點高(2045℃)等特點,它是一種相當難加工的材料,因此常被用來作為光電元件的材料。藍寶石晶體定向在以往的應用中,人們只利用它的一種功能——測定已知晶面與某結晶面的偏差。這種側偏工作只能先用 X射線晶體定向儀照勞或定向生長單晶,在大致知道被測平面的面指數的基礎上才能進行糾偏。


            目前高亮度白/藍光LED的品質取決于氮化鎵磊晶(GaN)的材料品質,而氮化鎵磊晶品質則與所使用的藍寶石基板表面加工品質息息相關,藍寶石C面與Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉積薄膜之間的晶格常數失配率小,同時符合GaN 磊晶制程中耐高溫的要求,使得藍寶石晶片成為制作白/藍/綠光LED的關鍵材料。確保晶棒品質以及以及掏取后的晶棒尺寸與方位是否合客戶規格 ,在切片機上準確定位藍寶石晶棒的位置,以便于切片加工。改善晶片粗糙度,使其表面達到外延片磊晶級的精度(先雙面拋光,再單面拋光。正面粗糙度<0.3um,背面粗糙度0.4um-1um)


            藍寶石晶體定向在生產加工過程中,需要對晶體的兩端進行切割、打磨,對晶體的側面進行磨圓,將晶體加工成一個規整的圓柱體。在對晶體的側面進行磨圓時,要將晶體一端的端面粘接到加工座上,將加工座安裝到專用的磨機上,在晶體與加工座一起轉動的過程中, 磨機將晶體的側面磨制成一個規整的圓柱體側面。



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