歡迎訪問丹東新東方晶體儀器有限公司官網!

          熱門搜索:藍寶石晶體定向單晶定向單晶材料

          icon1.png好品質            icon2.png好材料            icon3.png好服務

          新聞分類

          產品分類

          聯系我們

          丹東新東方晶體儀器有限公司

          聯系人:張經理

          電 話:0415-6172363   13304155299

          傳 真:0415-6181014

          郵 箱:xdf@ddxdf.com

          網 址:www.webdev3000.com

          地 址:遼寧丹東環保產業園區A-050號

          郵 編:118000

          碳化硅單晶的微管缺陷

          您的當前位置: 首 頁 >> 新聞中心 >> 技術中心

          碳化硅單晶的微管缺陷

          發布日期:2020-04-09 00:00 來源:http://www.webdev3000.com 點擊:

          微管缺陷嚴重阻礙了多種SiC單晶定向器件的商業化,被稱為SiC器件的“殺手型”缺陷。大多數關于微管缺陷形成機制的討論都是基于微管與大伯格斯矢量超螺形位錯相結合的Frank理論。生長過程中,沿超螺旋位錯核心方向的高應變能密度會導致該處優先升華,因此微管缺陷具有空心的特征。微管缺陷的產生往往會伴隨其它過程的出現,如微管道分解、遷移、轉變和重新結合等,并且隨著晶體直徑的增加,控制所有生長參數達到所需的精度越來越困難,微管缺陷的密度也會隨之增加。

          盡管微管的形成具有不同的理論和技術方面的原因,通過對生長工藝的改進,過去幾年里SiC單晶的微管密度仍然在持續下降。2000年,Müller等介紹了Cree公司制備出的直徑為25mm的無微管缺陷4H-SiC晶片,直徑為50mm的4H-SiC晶片的微管密度僅為1.1cm-1,這種質量的材料已經被證明非常適合制造大面積功率器件[10]。2009年Gupta等發表文章稱,美國Ⅱ-Ⅵ公司制備出直徑為106.4mm的半絕緣6H-SiC晶錠,其晶片微管密度在2~8cm-2范圍內[17]。2009年Schmitt等[18]介紹了德國SiCrystal公司在提高3inch 4H-SiC晶片結晶質量上取得的進展,其晶片微管密度小于0.1cm-2。2009年,Leonard等[11]報道了Cree公司出品的經KOH腐蝕的無微管100mm 4H-SiC晶片。2009年,Gao等人采用升華法在 面為籽晶的6H-SiC單晶中得到了無微管的高質量單晶區。圖7為目前山東天岳生產的4英寸4H-SiC晶片,其微管密度為0.3cm-2。近來,隨著技術的進步,減少甚至徹底消除這類缺陷已成為可能。

          單晶定向設備價格

          相關標簽:硅單晶定向

          Z近瀏覽:

          熱推產品  |  主營區域: 北京 上海 廣州 深圳 天津 重慶 南京 沈陽 丹東
          在線客服
          分享
          欧美日韩中文字幕日韩欧美一区二区三区久久国产欧美日韩精品国产在线欧美日韩精品一区亚洲欧美中文日韩v在线观看亚洲中文欧美日韩在线不卡欧美日韩亚洲国内综合网国产精品v日韩精品v欧美精品欧美v亚洲v日韩v最新在线日韩欧美中文字幕亚洲国产欧美日韩另类欧美日韩精品一区二区在线,国产精品v欧美精品v日韩精品日韩欧美一中文字暮专区亚洲欧美日韩中文无线码亚洲欧美中文日韩v在线亚洲欧美日韩在线一区国产亚洲欧美日韩在线一区2020亚洲欧美国产日韩亚洲欧美日韩精品专区欧美日韩亚洲国产精品亚洲欧美日韩综合影院日韩欧美毛片免费观看日韩欧美一中文字暮,日韩欧美亚洲欧美中文日韩在线v日本欧美日韩视费观看视频亚洲欧美日韩精品久久亚洲欧美中文日韩视频亚洲欧美偷国产日韩欧美日韩亚洲在线欧美日韩亚洲中字国产亚洲欧美日韩精品自拍欧美国产日韩中文字幕欧美日韩亚洲第一区在线欧美日韩国产在线一区二区,欧美精品v国产精品v日韩精品国产日韩精品欧美一区喷水欧美日韩免费观看在线影片欧美日韩国产在线人成久久精品国产欧美日韩亚洲欧美日韩中文久久国产一区日韩二区欧美三区国产日韩欧美高清免费视频国产亚洲欧美日韩一区欧美日韩不卡高清在线看亚洲欧美日韩综合在线一区米奇849超碰欧美日韩亚洲,亚洲欧美日韩一区二区国产日韩欧美无限制视频中文亚洲欧美日韩无线码亚洲一日韩欧美中文字幕在线亚洲欧美中文日韩在线视频欧美日韩国产码高清亚洲欧美日韩一区日韩精品视频欧美国产国产欧美日韩在线在线播放综合精品欧美日韩国产在线欧美日韩免费一区高清欧美日韩中文国产一区,欧美日韩在线视频国产欧美日韩中文久久欧美日韩视频高清一区日韩欧美亚洲每日更新在线日韩欧美中文字幕在线日韩欧美国产精品亚洲二区日韩欧美亚洲综合久久欧美日韩免费一区二区三区播放国产日韩欧美不卡在线二区手机看片日韩国产欧美日韩欧美中文字幕在线二视频天堂av亚洲欧美日韩国产综合