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          現階段單晶材料企業面臨哪些問題

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          現階段單晶材料企業面臨哪些問題

          發布日期:2020-01-06 00:00 來源:http://www.webdev3000.com 點擊:

          單晶材料行業作為半導體產業的直接上游,是半導體行業技術進步并不斷發展的基石。近年來,隨著半導體行業向高質量發展轉變,半導體級單晶硅材料行業對市場參與者的研發能力、生產能力及品質管控能力均提出了很高的要求,而缺乏高素質的研發人員和有經驗的生產管理人員是我國半導體企業面臨的普遍現象,成為制約我國半導體級單晶硅材料行業發展進步的一大障礙。

          隨著晶體直徑的增加,生產用坩堝直徑將增大,生產過程中熱場的不均勻性及硅熔液的對流情況也越明顯,導致部分硅原子排列呈現不規則性,進而形成晶體缺陷,造成良品率下降,一般情況下坩堝尺寸大于 24 英寸即需要借助強磁場系統抑制對流。

          在直拉法工藝中,晶體的固液共存界面控制技術是單晶晶體生長的關鍵。晶體生長的不同階段需要不同的界面控制方法才能實現產品生產的效率和高良品率。在直拉法拉晶工藝過程中,成品晶體直徑與熱場直徑比通常不超過 0.5。

          如何提高引晶的成功率,是國內單晶材料生產商普遍頭疼的問題之一,引晶技術通過控制晶體頸部的直徑及長度等參數,快速排除晶體面缺陷和線缺陷,減少晶體位錯,從而提高一次引晶的成功率。

          輕摻晶體中容易產生晶體原生顆粒等點缺陷,導致單晶硅不能用于微小設計線寬的集成電路制造,減少或消除晶體點缺陷是開發先進制程硅片的前提,在無磁場環境下利用點缺陷密度控制技術控制并有效降低點缺陷密度。


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