歡迎訪問丹東新東方晶體儀器有限公司官網!

          熱門搜索:藍寶石晶體定向單晶定向單晶材料

          icon1.png好品質            icon2.png好材料            icon3.png好服務

          新聞分類

          產品分類

          聯系我們

          丹東新東方晶體儀器有限公司

          聯系人:張經理

          電 話:0415-6172363   13304155299

          傳 真:0415-6181014

          郵 箱:xdf@ddxdf.com

          網 址:www.webdev3000.com

          地 址:遼寧丹東環保產業園區A-050號

          郵 編:118000

          半導體碳化硅單晶材料的發展

          您的當前位置: 首 頁 >> 新聞中心 >> 公司新聞

          半導體碳化硅單晶材料的發展

          發布日期:2016-08-05 00:00 來源:http://www.webdev3000.com 點擊:

                   這些半導體材料制成的器件大都只能在200℃以下的環境中工作,不能滿足現代電子技術對高溫、高頻、高壓以及抗輻射器件的要求。作為第三代寬帶隙半導體材料的代表,碳化硅(SiC)單晶材料具有禁帶寬度大(~Si的3倍)、熱導率高(~Si的3.3倍或GaAs的10倍)、電子飽和遷移速率高(~Si的2.5倍)和擊穿電場高(~Si的10倍或GaAs的5倍)等性質[1-2],如表1所示。SiC器件在高溫、高壓、高頻、大功率電子器件領域和航天、軍工、核能等環境應用領域有著不可替代的優勢[3-7],彌補了傳統半導體材料器件在實際應用中的缺陷,正逐漸成為功率半導體的主流。


                  這種方法主要用于制作SiC磨料,無法滿足半導體要求。直到1955年,首先在實驗室用升華法成功制備出了SiC單晶,如圖2所示,他將SiC 粉料放在石墨坩堝和多孔石墨管之間, 通入惰性氣體(通常用氬氣),在壓力為1atm 條件下,加熱至約2500℃的高溫,SiC 粉料升華分為Si, SiC2和Si2C等氣相組分,在生長體系中溫度梯度產生的驅動力下,氣相組分在溫度較低的多孔石墨管內壁上自發成核生成片狀SiC 晶體,這種方法奠定了毫米級SiC單晶生長的工藝基礎,此后,有關SiC的研究工作展開。1978年,Tairov和Tsvetkov[9]成功的把Lely法與籽晶、溫度梯度等其它晶體生長技術研究中經??紤]的因素巧妙地結合在一起,創造出改良的SiC晶體生長技術,PVT法是目前商品化SiC晶體生長系統的主要方法。


                   通常單晶材料半導體材料的晶錠生長是采用元素半導體或化合物半導體熔融液中的直拉單晶法或籽晶凝固法。然而由于熱動力學原因,固態SiC只有在壓強超過1×105atm、溫度超過3200℃時才會熔化。目前,晶體生長實驗室及工廠所擁有的技術手段還無法達到這樣的要求。迄今為止,物理氣相傳輸法(PVT)是生長大尺寸、高質量SiC單晶的好方法,也稱為改良的Lely法或籽晶升華法,這種方法占據了SiC圓晶供應量的90%以上。此外,高溫化學氣相沉積法(HTCVD)也可以用來制備SiC單晶。



          單晶材料

          相關標簽:單晶材料

          Z近瀏覽:

          熱推產品  |  主營區域: 北京 上海 廣州 深圳 天津 重慶 南京 沈陽 丹東
          在線客服
          分享
          欧美日韩中文字幕日韩欧美一区二区三区久久国产欧美日韩精品国产在线欧美日韩精品一区亚洲欧美中文日韩v在线观看亚洲中文欧美日韩在线不卡欧美日韩亚洲国内综合网国产精品v日韩精品v欧美精品欧美v亚洲v日韩v最新在线日韩欧美中文字幕亚洲国产欧美日韩另类欧美日韩精品一区二区在线,国产精品v欧美精品v日韩精品日韩欧美一中文字暮专区亚洲欧美日韩中文无线码亚洲欧美中文日韩v在线亚洲欧美日韩在线一区国产亚洲欧美日韩在线一区2020亚洲欧美国产日韩亚洲欧美日韩精品专区欧美日韩亚洲国产精品亚洲欧美日韩综合影院日韩欧美毛片免费观看日韩欧美一中文字暮,日韩欧美亚洲欧美中文日韩在线v日本欧美日韩视费观看视频亚洲欧美日韩精品久久亚洲欧美中文日韩视频亚洲欧美偷国产日韩欧美日韩亚洲在线欧美日韩亚洲中字国产亚洲欧美日韩精品自拍欧美国产日韩中文字幕欧美日韩亚洲第一区在线欧美日韩国产在线一区二区,欧美精品v国产精品v日韩精品国产日韩精品欧美一区喷水欧美日韩免费观看在线影片欧美日韩国产在线人成久久精品国产欧美日韩亚洲欧美日韩中文久久国产一区日韩二区欧美三区国产日韩欧美高清免费视频国产亚洲欧美日韩一区欧美日韩不卡高清在线看亚洲欧美日韩综合在线一区米奇849超碰欧美日韩亚洲,亚洲欧美日韩一区二区国产日韩欧美无限制视频中文亚洲欧美日韩无线码亚洲一日韩欧美中文字幕在线亚洲欧美中文日韩在线视频欧美日韩国产码高清亚洲欧美日韩一区日韩精品视频欧美国产国产欧美日韩在线在线播放综合精品欧美日韩国产在线欧美日韩免费一区高清欧美日韩中文国产一区,欧美日韩在线视频国产欧美日韩中文久久欧美日韩视频高清一区日韩欧美亚洲每日更新在线日韩欧美中文字幕在线日韩欧美国产精品亚洲二区日韩欧美亚洲综合久久欧美日韩免费一区二区三区播放国产日韩欧美不卡在线二区手机看片日韩国产欧美日韩欧美中文字幕在线二视频天堂av亚洲欧美日韩国产综合