藍寶石晶體工藝技術說明

發布日期：2016-05-20 08:35 來源：http://www.webdev3000.com 點擊：

藍寶石晶體定向生長系統主要包括控制系統、真空系統、加熱體、冷卻系統和熱防護系統等。微提拉旋轉泡生法大尺寸藍寶石晶體生長技術主要是通過調控系統內的熱量輸運來控制整個晶體的生長過程，因此加熱體與熱防護系統的設計，熱交換器工作流體的選擇、散熱能力的設計，晶體生長速率、冷卻速率的控制等工藝問題對能否生長出品質優良的藍寶石晶體都至關重要。

藍寶石晶體，生長設備集水、電、氣于一體，主要由能量供應與控制系統、傳動系統、晶體生長室、真空系統、水冷系統及其它附屬設備等組成。傳動系統作為籽晶桿(熱交換器)提拉和旋轉運動的導向和傳動機構，與立柱相連位于爐筒之上，其主要由籽晶桿(熱交換器)的升降、旋轉裝置組成。提拉傳動裝置由籽晶桿(熱交換器)的快速及慢速升降系統兩部分組成。籽晶桿(熱交換器)的慢速升降系統由稀土永磁直流力矩電機，通過諧波減速器與精密滾珠絲杠相連，經滾動直線導軌導向，托動滑塊實現籽晶桿(熱交換器)在拉晶過程中的慢速升降運動。籽晶桿(熱交換器)的快速升降系統由快速伺服電機經由諧波減速器上的蝸桿、蝸桿副與諧波的聯動實現。

籽晶桿的旋轉運動由稀土永磁式伺服電機通過楔形帶傳動實現。該傳動系統具有定位精度高、承載能力大，速度穩定、可靠，無振動、無爬行等特點。采用精密加熱，其具有操作方法簡單，容易控制的特點。在熱防護系統方面，該設計保溫罩具有調節氣氛，防輻射性能好，保溫隔熱層熱導率小，材料熱穩定性好，長期工作不掉渣，不起皮，具有對晶體生長環境污染小，便于清潔等優點。選用金屬鉬坩堝，并依據設計的晶體生長尺寸、質量來設計坩堝的內徑、凈深、壁厚等幾何尺寸，每爐Z大可制備D200mmX200mm，重量25Kg藍寶石單晶體。

藍寶石晶體定向